細(xì)分步進(jìn)驅(qū)動(dòng)有時(shí)也被稱為微動(dòng)驅(qū)動(dòng)，最近已統(tǒng)一為細(xì)分步進(jìn)驅(qū)動(dòng)。細(xì)分步進(jìn)驅(qū)動(dòng)是將全步進(jìn)驅(qū)動(dòng)時(shí)的步距角各相的電流以階梯狀n步逐漸增加，使吸引轉(zhuǎn)子的力慢慢改變，每次轉(zhuǎn)子在該力的平衡點(diǎn)靜止，全步距角作n個(gè)細(xì)分，可使轉(zhuǎn)子運(yùn)行效果光滑，因此，在低速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，此法可認(rèn)為是降低振動(dòng)的有效手段之一。
下圖表示兩相式步進(jìn)電機(jī)的4細(xì)分微步進(jìn)的各相電流波形的概念圖。各相電流值的峰值相等，相位偏差90°。此電流的大小并非必須均等增加，通常其平均曲線會(huì)變成正弦波。
改變此電流值的手段與前文所示電路圖的恒電流斬波器部分相同，預(yù)先控制輸出電路，確定電流波形。上圖所示為供給2相式步進(jìn)電機(jī)細(xì)分電流，下圖為轉(zhuǎn)子細(xì)分步進(jìn)的情況。
上圖中，1為前文第一張圖的a相電流峰值時(shí)的狀態(tài)；2為a相電流由1段的峰值電流減少變成3/4階段的電流，同時(shí)b相的電流從零開(kāi)始增加到1/4的峰值電流的過(guò)程；3為a相電流由峰值電流下降到1/2峰值， b相的電流上升到峰值的1/2，兩電流相等的狀態(tài)；4為a相電流由繼續(xù) 下降成1/4峰值，b相電流上升到3/4峰值的狀態(tài)；5為a相電流由峰值時(shí)電流減少變成零，b相的電流增加變成峰值時(shí)狀態(tài)。定子的各相激磁電流大小與相對(duì)應(yīng)轉(zhuǎn)子步進(jìn)情況如本文第一圖所示。
此時(shí)，簡(jiǎn)化圖，a相b相的節(jié)距θ0作步距角，轉(zhuǎn)子每次電流各變化一次，每步進(jìn)θ0/4，即已知步距角的四分之一。一般使用這種細(xì)分方法，可以使電流波形能夠接近正弦波。此處增加細(xì)分步級(jí)的細(xì)分量，電流能近似正弦波，旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩也能得到正弦波變化。
2相步進(jìn)電機(jī)的交鏈磁通與電流模型如下圖所示。
電流以角速度ω表示，a相比b相超前（π/2），電流公式如下所示：
ia=icosωt
ib=isinωt
激磁磁通在a相與b相交鏈部分，考慮相位相差π/2，根據(jù)上圖變成下式：
φa=φcosθ
φb=φsinθ
設(shè)a相轉(zhuǎn)矩為ta，b相轉(zhuǎn)矩為tb，2相微步進(jìn)驅(qū)動(dòng)時(shí)的合成轉(zhuǎn)矩為t2，考慮最簡(jiǎn)單模型，令式（t1=nnri(dφ/dθ)）中的n=1，nr=l，則轉(zhuǎn)矩公式如下所示：
轉(zhuǎn)子與定子的轉(zhuǎn)動(dòng)磁場(chǎng)同步，以負(fù)載角δ（如前文《pm型電機(jī)轉(zhuǎn)矩的產(chǎn)生及負(fù)載角》及文《hb型電機(jī)的轉(zhuǎn)矩與負(fù)載關(guān)系》的圖中δ）轉(zhuǎn)動(dòng)，下式成立：
θ=ωt-δ
將上式3代入式1、式2，及θ=ωt-δ得下式：
即t2為含ω的項(xiàng)消去，δ取一定值，能得到近似正弦波的轉(zhuǎn)矩。上式（t2=iφsinδ）表示前文《pm型電機(jī)轉(zhuǎn)矩的產(chǎn)生及負(fù)載角》及文《hb型電機(jī)的轉(zhuǎn)矩與負(fù)載關(guān)系》的圖中轉(zhuǎn)矩，如增加負(fù)載，δ也增加，至π/2時(shí)為其最大值。
以上細(xì)分步進(jìn)驅(qū)動(dòng)方式是降低振動(dòng)極為有效的手段。此時(shí)，永久磁鐵所產(chǎn)生的磁通分布假定為正弦波。hb型步進(jìn)電機(jī)的轉(zhuǎn)子在dq軸方向分離成兩個(gè)磁通，并且磁極上有很多的齒，容易產(chǎn)生高次諧波，因此，除式t2=iφsinδ所示的值外，還含有其他頻率成分的磁場(chǎng)。
如上所述的細(xì)分步進(jìn)驅(qū)動(dòng)，降低振動(dòng)的要點(diǎn)如下：
第一、細(xì)分步進(jìn)越是在低速運(yùn)行時(shí)效果越好。2相步距角0.9°（定子主極數(shù)16）的步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)速約150rpm以上，其減少振動(dòng)量的效果就不明顯。如輸入脈沖頻率太快，對(duì)細(xì)分步進(jìn)波形來(lái)說(shuō)，由于不能得到希望的電流波形，會(huì)使電機(jī)跟蹤精度變差。
第二、細(xì)分步進(jìn)的細(xì)分?jǐn)?shù)與降低振動(dòng)效果:理論上細(xì)分?jǐn)?shù)越多，降低振動(dòng)的效果越明顯，但實(shí)際到8細(xì)分時(shí)效果變化并不大。例如8細(xì)分與16細(xì)分以上不會(huì)有效果的差別（即沒(méi)有什么效果變化）。下圖表示兩相hb型16主極的0.9°步進(jìn)電機(jī)細(xì)分?jǐn)?shù)與速度波動(dòng)的圖像；
下圖表示改變細(xì)分?jǐn)?shù)與轉(zhuǎn)子速度變化情況，電機(jī)同樣為兩相hb型16主極的0.9° 步進(jìn)電機(jī)。兩者皆為2相激磁，1-2相激磁，4細(xì)分時(shí)沒(méi)有看到大的差別。由上圖可以看出，轉(zhuǎn)數(shù)在150rpm以上時(shí)，步距角為0.9°的電機(jī)雖然激磁方式發(fā)生變化，但速度變化差別不大。
下圖表示三相hb型步距角3.75°時(shí)的全步距角，2細(xì)分、4細(xì)分、8細(xì)分時(shí)的電流波形和電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)角的波形?？梢钥闯?，電流波形8細(xì)分時(shí)接近正弦波。細(xì)分步進(jìn)的細(xì)分?jǐn)?shù)是決定驅(qū)動(dòng)電路的復(fù)雜程度和成本的原因之一，應(yīng)該根據(jù)使用目的和轉(zhuǎn)速來(lái)合理選用不同的驅(qū)動(dòng)電路。
第三、細(xì)分的角度雖然能定位，但其精度不高，因此定位控制時(shí)，用細(xì)分的2相或1相導(dǎo)通方式來(lái)定位。
第四、相同情況下，細(xì)分步進(jìn)時(shí)的各步（step）暫態(tài)特性因包含1相激磁或2相激磁等工作狀態(tài)，故過(guò)渡過(guò)程并不一樣。此種情況如下圖所示。