常見真空腔體技術(shù)性能
材質(zhì)：不銹鋼、鋁合金等
腔體適用溫度范圍：-190℃~+1500℃(水冷)
密封方式：氟膠o型圈或金屬無氧銅圈
出廠檢測(cè)事項(xiàng)：
1、真空漏率檢測(cè)1.3*10-10mbar*l/s
2、水冷水壓檢測(cè)：8公斤24小時(shí)無泄漏檢測(cè).
內(nèi)外表面處理：拉絲拋光處理、噴砂電解處理、酸洗處理、電解拋光處理和鏡面拋光處理等.
真空腔體加工的注意事項(xiàng)
真空腔體是保持內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器，真空腔體加工要考慮容積、材質(zhì)和形狀。
超高真空系統(tǒng)主要采用不銹鋼材質(zhì)。其中300系列不銹鋼(表1)是含cr10%～20%的低碳鋼，具有優(yōu)良的抗腐蝕性、無磁性、焊接性好、導(dǎo)電率、放氣率低和導(dǎo)熱率低、能夠在-270～900℃工作等優(yōu)點(diǎn)，在高真空和超高真空系統(tǒng)中，應(yīng)用較廣。
為了減小腔體內(nèi)壁的表面積，通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統(tǒng)的腔體，更多的是利用電解拋光來進(jìn)行表面處理。
影響真空絕緣水平的主要因素
電極的幾許形狀
電極的幾許形狀對(duì)電場的分布有很大的影響，往往因?yàn)閹自S形狀不行恰當(dāng)，引起電場在部分過于集中而導(dǎo)致?lián)舸?，這一點(diǎn)在高電壓的真空產(chǎn)品中特別杰出。
電極邊際的曲率半徑大小是重要因素。一般來說，曲率半徑大的電極接受擊穿電壓的能力比曲率半徑小的大。
此外，擊穿電壓還和電極面積的大小成反比，即跟著電極面積的增大而有所下降。面積增大導(dǎo)致耐壓下降的原因主要是放電概率添加。
真空度
顯現(xiàn)了空隙擊穿電壓和氣體壓強(qiáng)之間的關(guān)系。由圖可以看到真空度高于10-2pa時(shí)，擊穿電壓基本上不再跟著氣體壓力的下降而增大，因?yàn)闅怏w分子碰撞游離現(xiàn)象已不復(fù)興效果。當(dāng)氣體壓力從10-2pa逐步升高時(shí)(真空度下降)，擊穿強(qiáng)度逐步下降，以后又隨氣壓的而。從曲線上可以看出真空度高于10-2pa時(shí)其耐壓強(qiáng)度基本上堅(jiān)持不變。真空的應(yīng)用范圍極廣,主要分為低真空、中真空、高真空和超高真空應(yīng)用。這就標(biāo)明，真空滅弧室的真空度在10-2pa以上時(shí)*可以滿足正常的運(yùn)用需求。