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      2. PIEZOSYSTEM JENA壓電定位器PXY 200原理介紹

        發(fā)布時(shí)間:2024-03-02
        產(chǎn)品介紹:
        準(zhǔn)確的平行運(yùn)動(dòng)
        max.200µm的運(yùn)動(dòng)范圍
        無(wú)機(jī)械間隙
        容易與其他壓電系統(tǒng)結(jié)合
        精密銷孔,可準(zhǔn)確調(diào)節(jié)
        高動(dòng)態(tài)范圍
        可用于光纖定位、二維掃描系統(tǒng)、光束對(duì)準(zhǔn)、半導(dǎo)體、微操作
        平行四邊形構(gòu)造的固態(tài)鉸鏈提供平行運(yùn)動(dòng),而在x和y方向上沒(méi)有機(jī)械間隙。這些構(gòu)造原理得到非常高的分辨率,遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)了機(jī)械和機(jī)電定位系統(tǒng)的分辨率。壓電定位器pxy 200系列可以輕松安裝到其他定位系統(tǒng),并可以配備克服磁滯效應(yīng)的測(cè)量設(shè)備(應(yīng)變儀)。動(dòng)態(tài)操作是可能的,pxy 200壓電元件非常適合解決掃描問(wèn)題。
        參數(shù):
        軸:x,y
        開(kāi)環(huán)運(yùn)動(dòng)(±10%)/閉環(huán)運(yùn)動(dòng)(±0.2%):200 /-µm
        每軸電容(±20%):5.2µf
        分辨率(開(kāi)/閉環(huán)):0.4 /- nm
        諧振頻率x / y(空載):350/350 hz
        推/拉力
        x軸:max. 130/13 n
        y軸:130/13 n
        剛度x / y :0.65 / 0.65 n /μm
        電壓范圍:-20…130v
        電纜長(zhǎng)度:1 m
        溫度范圍:-20°c…+ 80°c
        材料:鋁/不銹鋼
        尺寸(長(zhǎng)x寬x高):70x70x25 mm
        中心孔徑(直徑):28 mm
        重量:350 g
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