近年來，電容式薄膜真空計(jì)取得了重大進(jìn)展，新型的雙電容式薄膜真空計(jì)的問世，提高了該類真空計(jì)的精度，擴(kuò)展了測量范圍，使其測量下限可達(dá)lo-3pa。根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真空計(jì)稱為電容式薄膜真空計(jì)，它由電容式薄膜規(guī)管（又稱為電容式壓力傳感器）和測量儀器兩部分組成。根據(jù)測量電容的不同方法，儀器結(jié)構(gòu)有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補(bǔ)償法，具有較高的測量精度。目前在計(jì)量部門作為低真空副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)的就是采用零位法結(jié)構(gòu)。
電容式薄膜規(guī)管的中間裝著一張金屬彈性膜片，在膜片的一側(cè)裝有一個(gè)固定電極，當(dāng)膜片兩側(cè)的壓差為零時(shí)，固定電極與膜片形成一個(gè)靜態(tài)電容c0，它與電容c1串聯(lián)后作為測量電橋的一條橋臂，電容c2、c3和c4與c5的串聯(lián)電容組成其它三條橋臂。
電容膜片真空計(jì)屬于高精度溫度補(bǔ)償型真空計(jì)，在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能。先進(jìn)的數(shù)字電子學(xué)提高真空計(jì)的性能和易于使用的特點(diǎn)。如一鍵調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整。抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有的零點(diǎn)穩(wěn)定性與預(yù)期數(shù)百萬次壓強(qiáng)周期包括大氣沖擊的長使用壽命。*的傳感器屏蔽（技術(shù)）保護(hù)真空計(jì)防止過程污染。堅(jiān)固耐用的機(jī)械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學(xué)加強(qiáng)了emc兼容性，長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償性。cdg025d真空計(jì)為從電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復(fù)等特性設(shè)定了新的標(biāo)準(zhǔn)。
電容膜片真空計(jì)優(yōu)點(diǎn)：全刻度范圍從100毫乇。。。1000乇。電源接通后快速穩(wěn)定。暴露大氣壓后快速恢復(fù)?？垢g性陶瓷傳感器。的長期訊號穩(wěn)定性。溫度補(bǔ)償。保護(hù)傳感器防止污染。一鍵調(diào)零功能。寬范圍電源。兩個(gè)設(shè)點(diǎn)。rs232接口。符合清潔室條件。
電容膜片真空計(jì)用途：在要求高的應(yīng)用中用于和快速的壓強(qiáng)測量；用于刻蝕，cvd，pvd，ald等半導(dǎo)體制造設(shè)備。數(shù)據(jù)貯存和顯示制造設(shè)備。工業(yè)真空設(shè)備。一般高精度壓強(qiáng)測量。
電容膜片真空計(jì)特點(diǎn)：任意方向安裝；放空快速響應(yīng)，縮短周期時(shí)間；快速與可靠的讀值，無需大氣壓調(diào)節(jié)；單一對數(shù)/線性模擬輸出訊號，易于工藝集成；小型結(jié)構(gòu)，節(jié)省有價(jià)值的工藝空間
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