美國brooks is320fx低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率大、極限壓力低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。
美國brooks cti-cryogenics 智能 on-board is 低溫泵系統(tǒng)采用創(chuàng)新型低溫技術(shù)，可以提供的真空性能和能源效率。獲得的分布式控制系統(tǒng)監(jiān)控器及連續(xù)可調(diào)的低溫泵系統(tǒng)獨立部件幫助維持系統(tǒng)從而實現(xiàn)在較寬真空范圍內(nèi)都有優(yōu)越的工藝連續(xù)性。
on-board is 低溫泵為您帶來長的連續(xù)運行時間、產(chǎn)能，同時相對當(dāng)今現(xiàn)存的其他任何低溫泵系統(tǒng)其具有低的購置成本，并提供brooks服務(wù)支持網(wǎng)絡(luò)的快速響應(yīng)支持。
美國brooks is320fx低溫泵的主要特性：
獲得的分布式控制系統(tǒng)監(jiān)控器及連續(xù)可調(diào)的低溫泵系統(tǒng)獨立部件幫助維持系統(tǒng)從而實現(xiàn)在較寬真空范圍內(nèi)都有優(yōu)越的工藝連續(xù)性
單臺泵和多臺泵配置的快速再生
低能耗及冷卻水消耗卻無真空特性損失
系統(tǒng)集成方便
產(chǎn)品安裝快捷
增強的遠程監(jiān)控功能可同時預(yù)防和預(yù)測維護
美國brooks is320fx低溫泵的結(jié)構(gòu)特點：
立式結(jié)構(gòu)：適于埋裝在地下，不會受電動機熱風(fēng)、空氣溫度和日照等影響，易于保冷；能降低泵的吸上高度，增加灌注頭，提高有效汽蝕余量；立式結(jié)構(gòu)還有利于排氣，使懸掛軸有足夠高度便于布置軸封裝置，故該泵也稱為立式筒型泵。
對稱結(jié)構(gòu)：泵的總體結(jié)構(gòu)力求對稱布置，以便在冷態(tài)下能均勻變形。冷頭一般采用二級機構(gòu)，級達到80k,第二級達到溫度10k。
雙層殼體：為了保冷方便和有利于輸送危險介質(zhì)，通常都制成雙層殼體，內(nèi)殼里面承受泵壓，內(nèi)外殼之間是吸入壓力，這樣可適當(dāng)降低內(nèi)殼的強度要求。外殼需做成真空夾層，已達到隔熱效果。
在美國brooks is320fx低溫泵內(nèi)設(shè)有由液氦或制冷機冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結(jié)，并保持凝結(jié)物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，從而達到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。①低溫冷凝：氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時，冷板溫度必須低于 25k；抽氫時，冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達10毫米左右。②美國brooks is320fx低溫泵低溫吸附：氣體分子以一個單分子層厚 ( 厘米數(shù)量級)被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在 20k時氫的蒸氣壓力等于大氣壓力，用 20k的活性炭吸氫時吸附平衡壓力則低于帕。這樣就可能在較高溫度下通過低溫吸附來進行抽氣。③低溫捕集：在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，被不斷增長的可冷凝氣體層埋葬和吸附。