直線模組剛度對于精密機械與儀器尤為重要。模組變形包括導(dǎo)軌本體變形、導(dǎo)軌副接觸變形，導(dǎo)軌抵抗受力變形的能力。變形將影響構(gòu)件之間的相對位置和導(dǎo)向精度，兩者均應(yīng)考慮。模組的精度堅持性主要取決于導(dǎo)軌的耐磨性與其尺寸穩(wěn)定性。
直線模組抗在給定的運轉(zhuǎn)條件下不出現(xiàn)自激振動的性能，在低速運動或微量移動時不出現(xiàn)爬行現(xiàn)象的性能。平穩(wěn)性與導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)、導(dǎo)軌副材料的匹配、潤滑狀況、潤滑劑的性質(zhì)及導(dǎo)軌運動之傳動系統(tǒng)的剛度等因素有關(guān)。
導(dǎo)向精度以及模組和支承件的熱變形等、導(dǎo)向精度是指運動構(gòu)件沿導(dǎo)面運動時其運動軌跡的準確水平。影響導(dǎo)向精度的主要因素有導(dǎo)軌承導(dǎo)面的幾何精度、導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)類型、導(dǎo)軌副的接觸精度、外表粗糙度、導(dǎo)軌和支承件的剛度、導(dǎo)軌副的油膜厚度及油膜剛度。