半導(dǎo)體潔凈室溫濕度監(jiān)測的重要性 潔凈室是指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓差、噪聲等參數(shù)都需要進(jìn)行控制的密閉空間。許多精密加工行業(yè)、半導(dǎo)體、芯片、醫(yī)學(xué)手術(shù)室、電子設(shè)備、航天、制藥、生物實驗室行業(yè)等都需要潔凈室。比如醫(yī)學(xué)行業(yè)主要是為了防止病jun、細(xì)jun、灰塵對病人手術(shù)過程中造成感染；溫濕度對于精密儀器儀表產(chǎn)品的**程度有很大影響。
半導(dǎo)體制造潔凈室對溫濕度的要求一般是溫度處于22-28℃ ，濕度在30-50 rh（%）之間。潔凈室運作過程中對相對濕度環(huán)境控制尤為常見。因為相對濕度會對潔凈室總體表現(xiàn)下降有較大影響，比如加速細(xì)jun繁殖；人體舒適感不佳，人的汗液可能污染半導(dǎo)體產(chǎn)品；出現(xiàn)靜電荷；加快金屬fu蝕生銹；水汽冷凝污染半導(dǎo)體表面的清潔度；光刻的退化；影響光刻膠附著能力等。
因此，對于半導(dǎo)體潔凈室的溫濕度控制尤為重要。現(xiàn)在的半導(dǎo)體潔凈室系統(tǒng)都會嚴(yán)格控制溫濕度、空氣潔凈度和壓差程度等，在室內(nèi)安裝不同的溫濕度傳感器、壓差傳感器等，做到實時監(jiān)測、實時控制。蘇州宏瑞凈化研發(fā)生產(chǎn)的溫濕度變送器傳感器、手持式溫濕度儀、壓差計等產(chǎn)品應(yīng)用于各種生物實驗室、制藥車間、潔凈室的溫濕度監(jiān)測。
不同的潔凈室對于溫濕度的要**不同的，主要是根據(jù)加工使用的產(chǎn)品本身的特性來考量。但是有一點，溫濕度不管在任何行業(yè)，作為一個環(huán)境因素發(fā)揮著重要的影響力。我們總是運用各種手段進(jìn)行溫濕度數(shù)據(jù)監(jiān)控，以便達(dá)到我們的理想狀態(tài)。
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