超精密清洗包括精密工業(yè)生產(chǎn)過程中對機(jī)械零件、電子元件，光學(xué)部件等的超精密清洗，以去除極微小污垢顆粒為目的。
超聲波清洗機(jī)根據(jù)清洗方法的不同，也可以分為物理清洗和化學(xué)清洗：利用力學(xué)、聲學(xué)、光學(xué)，電學(xué)、熱學(xué)的原理，依靠外來能量的作用，如機(jī)械摩擦、超聲波、負(fù)壓、高壓.)中擊。紫外線、蒸汽等去除物體表面污垢的方法叫物理清洗；依靠化學(xué)反應(yīng)的作用，利用化學(xué)藥品或其它溶劑去除物體表面污垢的方法叫化學(xué)清洗.如用各種無機(jī)或有機(jī)酸去除物體表面的銹跡、水垢，用氧化劑去除物體表面的色斑。消毒劑殺滅微生物并去除霉斑等.物理清洗和化學(xué)清洗都存在著各自的優(yōu)缺點(diǎn)，又具有很好的互補(bǔ)性。在實(shí)際應(yīng)用過程中，通常都是把兩者結(jié)合起來使用，以獲得較好的清洗效果。
根據(jù)清洗媒介的不同，又可以分為濕式清洗和干式清洗：一般將在液體介質(zhì)中進(jìn)行的清洗稱為濕式清洗，在氣體介質(zhì)中進(jìn)行的清洗稱為干式清洗.傳統(tǒng)的清洗方式大多為濕式清洗，而人們比較容易理解的干式清洗也就是吸塵器.但近年來，干式清洗發(fā)展迅速.如激光清洗.紫外線清洗，等離子清洗、干冰清洗等。